热风多层炉
- 对应世代：G3.5~G10.5
- 可对应温度范围：120℃~350℃
- 均温性佳：≦±3℃
- 含氧控制能力：3%~30%，±1%
- 洁净度：Class10/100/1,000
- 运作方式：Robot传输
- Recipe编辑管理
- 制程应用
Array：高温退火炉
CF：彩膜固化炉
Cell：框胶固化炉
其他：触控屏、触控屏盖板 - 专利堆栈式Shutter设计，缩小玻璃基板层距，提高产能
- 有机挥发物特殊处理设计
- 分区温度控制设计，温度均匀性佳
- 应用先进制程控制(APC)，收集机台相关数据与数据，实时处理系统实时错误诊断与分类
- 销售实绩:AUO、InnoLux、HSD、CPT、Qualcomm、CANDO、WINTEK、BOE、CSOT、CEC、HKC、CHOT、TIANMA、IVO等，超过500台
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