对应世代：G3.5~G10.5 实时监控紫外线强度，可回授实时进行灯管输出功率控制 采用电子式安定器，可精密控 […]

对应世代：G3.5~G10.5 可对应温度范围：120℃~350℃ 均温性佳：≦±3℃ 含氧控制能力：3%~3 […]

对应世代：G3.5~G10.5 可对应温度范围：120℃~450℃ 均温性佳：≦±3℃ 含氧控制能力：3%~3 […]

最高使用温度：450℃ 温度均匀性：±3℃ 含氧控制能力：3%~30%，±1% 湿度控制能力：绝对湿度5%~3 […]

适用尺寸：G2~G6 最高使用温度：600℃ 温度均匀性：±4℃ 升降温速率：≧8℃/Min. 含氧控制能力： […]

本体尺寸：W1400xD20700xH1700(mm)/8600KG 卷式放料机：W1500xD2250xH1 […]

2.0kwx1支 2~10m/min 280mm 有效宽度：220mm 770+50mm 尺寸L/W/H(cm […]

3.2kwx2支 UV灯管强度：60/80W/cm 4~20m/min 400mm 有效宽度：350mm 77 […]

1.发光波长 DUV：185nm及254nm EUV：172nm 2.搬送型式：RobotorConveyor […]

1.适用薄膜尺寸：宽幅200mm~600mm 2.适用薄膜厚度：50µm~200µm(不含保护膜) 3.0.5 […]