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面板級微波電漿光阻去除機

面板級微波電漿光阻去除機

產品型號：PRSM-BM2R6025A
產品諮詢

  • 適用最大 600 x 600mm 面板尺寸
  • 大面積翹曲解決方案
  • 系統搭配2個或更多製程腔
  • 穩定的自動化傳輸系統
    全面數位控制系統，具備聯網功能
  • 3種製程模式選擇：微波、反應式離子蝕刻、微波+偏壓
  • 低損傷高密度微波電漿系統具備高效電漿處理效率
  • 大面積微波源與中頻偏壓方案提升大面積均勻性

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