1.發光波長 DUV：185nm及254nm EUV：172nm 2.搬送型式：RobotorConveyor […]

1.適用薄膜尺寸：寬幅200mm~600mm 2.適用薄膜厚度：50µm~200µm(不含保護膜) 3.輸送速 […]

1.VOC處理量：40~120M³/min. 2.尺寸W/L/H(mm)：3250/2350/2100

輸送速度：1~5M/min(可調) 真空範圍：0.2~20Torr 加壓壓力：0~5kg/cm2 加熱器：3. […]

適用範圍： 長：200m 寬：250/500mm 厚：0.035-0.4mm 機台外型(W/D/H)：2560 […]

適用範圍： 長：250-640mm(10″to25″) 寬：250-640mm(10& […]

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