對應世代：G3.5~G10.5 可對應溫度範圍：120℃~450℃ 均溫性佳：≦±3℃ 含氧控制能力：3%~3 […]

最高使用溫度：450℃ 溫度均勻性：±3℃ 含氧控制能力：3%~30%，±1% 濕度控制能力：絕對溼度5%~3 […]

適用尺寸：G2~G6 最高使用溫度：600℃ 溫度均勻性：±4℃ 升降溫速率：≧8℃/Min. 含氧控制能力： […]

本體尺寸：W1400xD20700xH1700(mm)/8600KG 卷式放料機：W1500xD2250xH1 […]

水銀燈管：2.0kwx1支 輸送速度：2~10m/min 輸送帶寬度：280mm 有效寬度：220mm 輸送高 […]

水銀燈管：3.2kwx2支 燈管強度：60/80W/cm 輸送速度：4~20m/min 輸送帶寬度：400mm […]

1.發光波長 DUV：185nm及254nm EUV：172nm 2.搬送型式：RobotorConveyor […]

1.適用薄膜尺寸：寬幅200mm~600mm 2.適用薄膜厚度：50µm~200µm(不含保護膜) 3.輸送速 […]

1.VOC處理量：40~120M³/min. 2.尺寸W/L/H(mm)：3250/2350/2100

輸送速度：1~5M/min(可調) 真空範圍：0.2~20Torr 加壓壓力：0~5kg/cm2 加熱器：3. […]