對應世代:G3.5~G10.5 可對應溫度範圍:120℃~450℃ 均溫性佳:≦±3℃ 含氧控制能力:3%~3 […]
最高使用溫度:450℃ 溫度均勻性:±3℃ 含氧控制能力:3%~30%,±1% 濕度控制能力:絕對溼度5%~3 […]
適用尺寸:G2~G6 最高使用溫度:600℃ 溫度均勻性:±4℃ 升降溫速率:≧8℃/Min. 含氧控制能力: […]
本體尺寸:W1400xD20700xH1700(mm)/8600KG 卷式放料機:W1500xD2250xH1 […]
水銀燈管:2.0kwx1支 輸送速度:2~10m/min 輸送帶寬度:280mm 有效寬度:220mm 輸送高 […]
水銀燈管:3.2kwx2支 燈管強度:60/80W/cm 輸送速度:4~20m/min 輸送帶寬度:400mm […]
1.發光波長 DUV:185nm及254nm EUV:172nm 2.搬送型式:RobotorConveyor […]
1.適用薄膜尺寸:寬幅200mm~600mm 2.適用薄膜厚度:50µm~200µm(不含保護膜) 3.輸送速 […]
1.VOC處理量:40~120M³/min. 2.尺寸W/L/H(mm):3250/2350/2100
輸送速度:1~5M/min(可調) 真空範圍:0.2~20Torr 加壓壓力:0~5kg/cm2 加熱器:3. […]