1.尺寸：W3200xD2600xH2500(mm)/6500KG 2.基板尺寸：300&301(m […]
1.適用範圍： 長：250-640mm(10″to25″) 寬：250-640mm(1 […]
1.機台尺寸:L998*W1302*H2256 2.晶圓尺寸:12″
提供各式尺寸請參閱型錄 可配適各國電力規格
設備內箱尺寸(W/D/Hcm) SMO-1B45/40/40 SMO-360/50/90 SMO-480/60 […]
提供各式尺寸請參閱型錄
