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規格
基板尺寸:
長度:260-610 mm
寬度:250-610 mm
板厚:0.05-2 mm (不含銅;單邊銅厚≥1/3oz
機台外型(L/W/H):29000/1480/2368 mm,2210kg
壓膜製程:
輸送速度:1~10 M/min(可調)
真空範圍:20~0.2 Torr
加壓壓力:0~5kg/cm
2
加熱器:3.4 KW x 2
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